[发明专利]气阀组件和使用相同气阀组件的装置有效
| 申请号： | 200410047873.4 | 申请日： | 2004-06-17 |
| 公开（公告）号： | CN1573184A | 公开（公告）日： | 2005-02-02 |
| 发明（设计）人： | 李相坤 | 申请（专利权）人： | 周星工程股份有限公司 |
| 主分类号： | F16K11/085 | 分类号： | F16K11/085;F16K41/00;C23C26/00 |
| 代理公司： | 北京律盟知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 王允方;刘国伟 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 本发明提供一种用于沉积装置的气阀组件，其包括：一个其中包括多个气体供应通道的驱动机械轴；一个围绕驱动机械轴并且其中包括多个通孔的外壳；在驱动机械轴和外壳之间的多个磁性密封对，所述磁性密封对包括磁性流体；和一个在机械轴和外壳之间的防漏构件，所述防漏构件防止磁性流体泄漏。 | ||
| 搜索关键词： | 气阀 组件 使用 相同 装置 | ||
【主权项】：
1.一种用于一个沉积装置的气阀组件，其包含：一个驱动机械轴，其中包括多个气体供应通道；一个外壳，其围绕所述驱动机械轴并且其中包括多个通孔；在所述驱动机械轴和所述外壳之间的多个磁性密封对，所述多个磁性密封对包括一个磁性流体；和一个在所述驱动机械轴和所述外壳之间的防漏构件，所述防漏构件防止磁性流体泄露。
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