[发明专利]热式空气流量计无效
| 申请号： | 200410045806.9 | 申请日： | 2004-05-20 |
| 公开（公告）号： | CN1573301A | 公开（公告）日： | 2005-02-02 |
| 发明（设计）人： | 松本昌大;山田雅通;渡边泉;半泽惠二;中田圭一 | 申请（专利权）人： | 株式会社日立制作所;日立汽车技术有限公司 |
| 主分类号： | G01F1/68 | 分类号： | G01F1/68 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人： | 汪惠民 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 一种热式空气流量计，在平板状基板(硅基板)(1)上形成的矩形状空间的热绝缘区域(2)的绝缘膜(6)上形成发热电阻体(4)，在发热电阻体(4)的上游侧与下游侧形成两个测温电阻体。矩形状空间的热绝缘区域(2)具有与空气流轴线平行的边的长度比与空气流轴线垂直的边的长度要长的结构。利用本发明，提供能够提高空气流量测定的灵敏度、减低发热体的消耗电力、同时扩大测定范围的热式空气流量计。 | ||
| 搜索关键词： | 空气 流量计 | ||
【主权项】：
1.一种热式空气流量计，其特征在于设置有在表面配置有绝缘膜、构成矩形状空间的热绝缘区域的平板状基板，在所述热绝缘区域的绝缘膜上形成的发热体，在所述热绝缘区域的绝缘膜上沿着空气的流动方向在所述发热体的两侧形成的两个测温体，所述矩形状空间的热绝缘区域具有与空气流轴线方向平行的边的长度比与所述空气流轴线方向垂直的边的长度要长的结构。
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