[发明专利]蒸发装置的固定构件无效
| 申请号： | 200410038119.4 | 申请日： | 2004-05-08 |
| 公开（公告）号： | CN1550570A | 公开（公告）日： | 2004-12-01 |
| 发明（设计）人： | 落合真世;岩濑博俊;加藤晴三;远藤铁郎 | 申请（专利权）人： | 三洋电机株式会社 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24 |
| 代理公司： | 北京纪凯知识产权代理有限公司 | 代理人： | 戈泊;王刚 |
| 地址： | 日本大阪*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 一种蒸发装置的固定构件，是在蒸发装置纵长方向释出均匀蒸镀物的蒸发装置中，以电热加热器(12)覆盖坩埚(10)上部开口的状态予以配置。然后，在电热加热器(12)侧面部设置多个角材(20)，将角材(20)以夹具(24)按压固定。而该夹具(24)是在底部具有以板状弹性材料弯成凸状的弯曲部，使该底部与对应的上端爪部(24f)间产生按压力，借此将坩埚(10)予以挟持。 | ||
| 搜索关键词： | 蒸发 装置 固定 构件 | ||
【主权项】：
1.一种蒸发装置的固定构件，具有：上部开放以收纳蒸发材料的细长长形坩埚；覆盖上述长形坩埚的上部开放部，由通电而发热，以对上述长形坩埚内的上述蒸发材料加热，且具有因加热而气化的上述蒸发材料可通过的开口的电热加热器；将该电热加热器对上述长形坩埚予以按压即可予以固定的蒸发装置的固定构件，上述固定构件具备：以板状弹性材料弯成凸状的弯曲部；由上述弯曲部两端分别向上折曲，使之成为竖立的侧面部，及由上述侧面部的上端部，向内侧折成略直角的爪部，且通过上述弯曲部的顶点按压在上述长形坩埚底面产生弹性按压力，使分别紧贴在上述电热加热器上缘部的各上述爪部内面，按压上述电热加热器对上述长形坩埚，以使上述长形坩埚与上述电热加热器固定。
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