[发明专利]铁电薄膜的化学液相交替沉积方法无效
| 申请号： | 200410036793.9 | 申请日： | 2004-04-30 |
| 公开（公告）号： | CN1644762A | 公开（公告）日： | 2005-07-27 |
| 发明（设计）人： | 刘敬松;张树人;杨成韬 | 申请（专利权）人： | 电子科技大学 |
| 主分类号： | C23C22/73 | 分类号： | C23C22/73 |
| 代理公司： | 成都虹桥专利事务所 | 代理人： | 刘勋 |
| 地址： | 610054四*** | 国省代码： | 四川;51 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 铁电薄膜的化学液相交替沉积方法，涉及一种铁电薄膜沉积技术。本发明在基底材料上交替涂覆前驱体溶液，利用层间合成反应制备铁电薄膜。本发明的有益效果是，因为每次旋涂得到薄层很薄，在纳米级，并且第一个薄层热处理后得到的晶粒粒径很小，只有十几个纳米，尺度在纳米级的薄层化学活性很高，所以可以降低热处理温度。本技术与传统方法相比，最高热处理温度要低 100℃。而且采用本发明，制备薄膜的速度可以大为提高。 | ||
| 搜索关键词： | 薄膜 化学 相交 沉积 方法 | ||
【主权项】：
1、铁电薄膜的化学液相交替沉积方法，其特征在于，在基底材料上交替涂覆前驱体溶液，利用层间合成反应制备铁电薄膜。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于电子科技大学，未经电子科技大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/200410036793.9/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：换向驱动旋转扳手
- 下一篇：为设备分配IP地址的方法
- 同类专利
- 专利分类
C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C22-00 表面与反应液反应、覆层中留存表面材料反应产物的金属材料表面化学处理，例如转化层、金属的钝化
C23C22-02 .使用非水溶液的
C23C22-05 .使用水溶液的
C23C22-70 .使用熔体
C23C22-73 .以工艺为特征的
C23C22-78 .待镀覆材料的预处理
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C22-00 表面与反应液反应、覆层中留存表面材料反应产物的金属材料表面化学处理，例如转化层、金属的钝化
C23C22-02 .使用非水溶液的
C23C22-05 .使用水溶液的
C23C22-70 .使用熔体
C23C22-73 .以工艺为特征的
C23C22-78 .待镀覆材料的预处理
