[发明专利]清洗装置无效
| 申请号： | 200410033423.X | 申请日： | 2004-04-07 |
| 公开（公告）号： | CN1680049A | 公开（公告）日： | 2005-10-12 |
| 发明（设计）人： | 吴世敏 | 申请（专利权）人： | 华生科技股份有限公司 |
| 主分类号： | B08B11/00 | 分类号： | B08B11/00;B08B1/00;B08B3/08 |
| 代理公司： | 隆天国际知识产权代理有限公司 | 代理人： | 经志强;潘培坤 |
| 地址： | 台湾省*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种清洗装置，通过一清洗剂以清洗一基板的边缘，该清洗装置包括：一支撑部；以及一海绵体，连接于该支撑部；其中，将该清洗剂滴入该海绵体后，利用该海绵体与该基板之间的接触及相对运动以进行清洗。 | ||
| 搜索关键词： | 清洗 装置 | ||
【主权项】：
1.一种清洗装置，是通过一清洗剂以清洗一基板的边缘，该清洗装置包括：一支撑部；以及一海绵体，连接于该支撑部；其中，将该清洗剂滴入该海绵体后，利用该海绵体与该基板之间的接触及相对运动以进行清洗。
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