[发明专利]生产含氟聚酰亚胺膜的方法和设备

摘要

提供一种生产具有突出的耐热性、耐化学药品性、防水性、绝缘性、电性能和光学性能的含氟聚酰亚胺膜的方法和适用于该方法的旋转涂布机。提供一种生产聚酰亚胺膜的方法，该方法包括在将相对湿度调至不大于50RH％的气氛中使含氟聚酰亚胺前体形成涂布膜，然后对该含氟聚酰亚胺前体进行热处理从而形成含氟聚酰亚胺膜。按照该方法，通过调节相对湿度可以防止含氟聚酰亚胺前体的吸水分解，从而有效地防止含氟聚酰亚胺膜形成梨形点和擦痕。进而言之，通过保持向涂布膜喷射气体，尤其是在旋转涂布的过程中，使其在涂布膜上形成气流层来形成涂布膜，可以防止在旋转涂布机中产生的涂层溶液的雾状物质重新粘着到涂布膜上，从而确保具有均一质量的涂布膜的生产。通过在旋转涂布机上提供盖和在盖上设置气体输入口而使气流层的形成变得容易。

主权项

1.一种生产含氟聚酰亚胺膜的方法，该方法包括在将相对湿度调至不大于50RH％的气氛中使含氟聚酰亚胺前体形成涂布膜，然后对该含氟聚酰亚胺前体进行热处理从而形成含氟聚酰亚胺膜。