[发明专利]具有校准设备的引线接合器及方法无效
| 申请号: | 200410032982.9 | 申请日: | 2004-04-14 |
| 公开(公告)号: | CN1551318A | 公开(公告)日: | 2004-12-01 |
| 发明(设计)人: | 罗兰·阿多尔尼;西尔万·蒂尔勒曼 | 申请(专利权)人: | ESEC贸易公司 |
| 主分类号: | H01L21/60 | 分类号: | H01L21/60 |
| 代理公司: | 中原信达知识产权代理有限责任公司 | 代理人: | 谷慧敏;钟强 |
| 地址: | 瑞士*** | 国省代码: | 瑞士;CH |
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| 摘要: | 一种引线接合器,其包括能够在水平面中移动的接线头,该接线头具有夹在角状件上的毛细管以及图像识别系统的部件。毛细管的尖端和图像识别系统的光轴分开一个矢量距离D。引线接合器有一个具有主体的设备,该主体有一个光标和两个止动面,它们使矢量距离D在任何时刻都能够被重新校准。引线接合器的控制程序设置为,一方面将毛细管移向第一止动面,并在毛细管接触第一止动面时确定接线头位置的第一坐标xC;然后,将毛细管移向第二止动面,在毛细管接触第二止动面时确定接线头位置的第二坐标yC。而且,控制程序进一步被设置为确定图像识别系统的光轴穿过光标的预定点处的接线头坐标。并且控制程序被设置为用于根据所得到的坐标xA、yA、xC和yC重新校准矢量距离D。 | ||
| 搜索关键词: | 具有 校准 设备 引线 接合 方法 | ||
【主权项】:
1.引线接合器,包括:图像识别系统,接线头(1),该接线头可以在水平面中移动,并包括角状件(4)和夹在角状件(4)上的毛细管(5),以及图像识别系统的至少一个部件,测量系统,用于获取接线头(1)的位置,控制程序,用于控制接线头(1)的位置,和用于确定和修正毛细管(5)尖端和图像识别系统的光轴(8)之间的矢量距离的设备,该设备包括具有一个光标(11)和两个止动面(12、13)的主体(10),其特征在于,控制程序被设置为将毛细管(5)移向第一止动面(12),并在毛细管(5)接触第一止动面(12)时立刻确定接线头(1)的位置的第一坐标;并将毛细管(5)移向第二止动面(13),在毛细管(5)接触第二止动面(13)时立刻确定接线头(1)的位置的第二坐标,并且其中,控制程序被设置为确定图像识别系统的光轴(8)穿过光标(11)的预定点处的接线头(1)坐标。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
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H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造





