[发明专利]线路缺陷检测维修设备及方法

摘要

本发明涉及一种液晶显示器的制程设备，特别是该设备同时具备玻璃基板上的线路缺陷检测及激光修补该线路缺陷的功能，该制程设备包括一机台底座；一基板承载台，用以放置及承载玻璃基板；一接触探针检测模块，具有接触探针，及接触探针传动系统；一非接触式检测模块，具有非接触式感测器，及非接触检测传动系统，及一激光修补模块，具有激光修补头及激光修补传动系统并以激光方式修补该玻璃基板的该线路缺陷。本发明还涉及检测及修补玻璃基板线路缺陷的方法。

主权项

1.一种用于平面显示器的线路缺陷检测及激光修补设备，用以检测玻璃基板的线路缺陷并对该线路缺陷进行激光修补，该设备包括：机台底座，用以支撑构件；基板承载台，设置于该机台底座上，用以放置及承载玻璃基板；接触探针检测模块，具有接触探针，及接触探针传动系统，该接触探针传动系统带动该接触探针，使该接触探针接触该玻璃基板的线路，以检测线路缺陷；非接触式检测模块，具有非接触式感测器，及非接触检测传动系统，该非接触检测传动系统系用以带动该非接触式感测器，以非接触方式检测该玻璃基板的该线路缺陷，并与该接触探针检测模块共同决定线路缺陷位置；及激光修补模块，具有激光修补头及激光修补传动系统，该激光修补传动系统系用以带动激光修补头，至该线路缺陷位置，并以激光方式修补该玻璃基板的该线路缺陷。