[发明专利]压电元件形成部件及其制造方法、压电致动器单元和液体喷射头

摘要

本发明提供了一种压电元件形成部件，其中，第一内部电极层和第二内部电极层在衬底中被交替层叠，而将压电材料层夹在其中间。第一内部电极层被暴露于衬底的第一端面，第二内部电极层暴露于衬底的第二端面，其中第二端面与第一端面相对。第一外部电极层被形成在第一端面和第三端面上，其中第三端面连接第一端面和第二端面。第二外部电极层被形成在第二端面和第三端面上。第二外部电极层和第一外部电极层是电独立的。第一外部电极层和第一内部电极层将被自第一端面开始延伸的若干狭缝分割，以形成多个在第一方向上排列布置的压电元件。第二外部电极层包括：一对第一部分，其被布置在第三端面在第一方向上的两个端部，并在垂直于第一方向的第二方向上具有第一尺寸；以及第二部分，其被布置在第一部分之间，并在第二方向上具有小于第一尺寸的第二尺寸。

主权项

1.一种压电元件形成部件，包括：衬底，在所述衬底中，第一内部电极层和第二内部电极层被交替层叠，而将压电材料层夹在其中间，所述第一内部电极层被暴露于所述衬底的第一端面，所述第二内部电极层暴露于所述衬底的第二端面，其中所述第二端面与所述第一端面相对；形成在所述第一端面和第三端面上的第一外部电极层，其中，所述第三端面连接所述第一端面和所述第二端面，所述第一外部电极层电连接到所述第一内部电极层；和形成在所述第二端面和所述第三端面上的第二外部电极层，所述第二外部电极层电连接到所述第二内部电极层，并且与所述第一外部电极层是电独立的，其中：所述第一外部电极层和所述第一内部电极层将被自所述第一端面开始延伸的若干狭缝分割，以形成多个在第一方向上排列布置的压电元件；以及所述第二外部电极层包括：一对第一部分，所述一对第一部分被布置在所述第三端面在所述第一方向上的两个端部，并在垂直于所述第一方向的第二方向上具有第一尺寸；和第二部分，所述第二部分被布置在所述第一部分之间，并在所述第二方向上具有小于所述第一尺寸的第二尺寸。