[发明专利]一种厚／宽度非接触测量方法及系统

摘要

本发明是一种厚/宽度非接触测量方法及系统，该方法是将准直光源发出的光束经非对称扫描转镜形成扫描光束，扫描光束被待测工件反/散射后，由接收物镜汇聚至光电接收元件，通过测量反/散射光在待测工件上的持续时间，通过特定测量方程得到工件厚/宽度。该系统是由准直光源、非对称扫描转镜、接收物镜、光电接收器依次相互连接组成，光电接收器还通过信号线与计算机相连接。本发明使用子非对称的转镜扫描，无扫描物镜，制造简单，系统误差可通过计算机实现有效补偿，系统工作稳定性好，安装调试及维护方便，成本低，还可方便地实现便携结构。

主权项

1.一种厚/宽度非接触测量方法，其特征是，将准直光源发出的光束通过非对称扫描转镜形成扫描光束，扫描光束在待测工件截面反/散射后，由接收物镜汇聚至光电接收元件，通过测量反/散射光在待测工件上的持续时间，按照下式测量得到工件厚/宽度H：H＝2·h·tan(θ2/2)·tan(θ3/2)/(tan(θ3/2)-tan(θ2/2))其中，h为非对称扫描转镜两反射面到旋转轴中心距离之差；θ2、θ3分别为非对称扫描转镜两反射面反射点对待测工件截面的张角。