[发明专利]碳纳米管压力传感器及其压力感测方法有效
| 申请号： | 200410026540.3 | 申请日： | 2004-03-13 |
| 公开（公告）号： | CN1667386A | 公开（公告）日： | 2005-09-14 |
| 发明（设计）人： | 吴健;刘锋 | 申请（专利权）人： | 清华大学;鸿富锦精密工业（深圳）有限公司 |
| 主分类号： | G01L1/16 | 分类号： | G01L1/16 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 518109*** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供一种碳纳米管压力传感器，其可包括一碳纳米管、一碳纳米管束或一有不同尺寸/类型的碳纳米管阵列，每个碳纳米管都与测量电路中的导电元件电性连接。当碳纳米管承受使它横截面变形的压力时，发生形变的碳纳米管的形状将影响电路中的电流，而待测压力则由测量电路监控的电流来决定。压力传感器的压力感测范围可通过使用不同数量的不同尺寸/类型的碳纳米管来实现。本发明还提供上述压力传感器的压力感测方法。本发明所提供的碳纳米管压力传感器具有测量精确度小、灵敏度高及感测范围宽且可调等优点，适合应用在不同的微机电系统(MEMS，Micro－Electro－MechanicalSystem)或纳米机电系统(NEMS，Nano－Electro－MechanicalSystem)中。 | ||
| 搜索关键词： | 纳米 压力传感器 及其 压力 方法 | ||
【主权项】：
1.一种碳纳米管压力传感器，其特征在于该压力传感器包括至少一碳纳米管，每个碳纳米管都含有一第一末端及相对的第二末端；一与该第一末端电性连接的第一导电元件；一与该第二末端电性连接的第二导电元件；以及与该第一、第二导电元件电性连接的测量电路；当该碳纳米管承受一压力时其横截面会发生形变，该形变引起该测量电路的电流变化，通过监控该电流变化即可测出施加压力。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于清华大学;鸿富锦精密工业（深圳）有限公司，未经清华大学;鸿富锦精密工业（深圳）有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/200410026540.3/，转载请声明来源钻瓜专利网。
