[发明专利]晶片测试机的单色器无效
| 申请号： | 200410024938.3 | 申请日： | 2004-06-01 |
| 公开（公告）号： | CN1584549A | 公开（公告）日： | 2005-02-23 |
| 发明（设计）人： | 周巍 | 申请（专利权）人： | 周巍 |
| 主分类号： | G01N21/17 | 分类号： | G01N21/17 |
| 代理公司： | 台州市方圆专利事务所 | 代理人： | 蔡正保 |
| 地址： | 318000浙江省台*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明是一种晶片测试机的单色器，包括衍射晶片基座、衍射晶片、入射光光闸，其特征在于衍射晶片基座装有Y方向滑块和X方向滑块，并分别与方向导轨和X方向导轨滑动配合。本发明由于把可旋转的衍射晶片基座安装在有一个X方向滑块和一个Y方向滑块的基座上，此结构即能调整衍射晶片相对与入射光线的角度，又能调整衍射晶片与入射光线交点的目的，从而达到控制衍射光线位置的目的。结构调整简单，更容易精确调整测试光路。 | ||
| 搜索关键词： | 晶片 测试 单色 | ||
【主权项】：
1、一种晶片测试机的单色器，包括衍射晶片基座(1)、衍射晶片(3)、入射光光闸(12)，其特征在于衍射晶片基座(1)装有Y方向滑块(18)和X方向滑块(19)，并分别与方向导轨(10)和X方向导轨(9)滑动配合。
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