[发明专利]利用静电和电荷驰豫工作的悬浮转子MEMS微陀螺无效
| 申请号： | 200410018015.7 | 申请日： | 2004-04-29 |
| 公开（公告）号： | CN1570563A | 公开（公告）日： | 2005-01-26 |
| 发明（设计）人： | 张卫平;陈文元;赵小林;段永瑞;崔峰 | 申请（专利权）人： | 上海交通大学 |
| 主分类号： | G01C19/24 | 分类号： | G01C19/24 |
| 代理公司： | 上海交达专利事务所 | 代理人： | 王锡麟;王桂忠 |
| 地址： | 200240*** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 一种利用静电和电荷驰豫工作的悬浮转子MEMS微陀螺，用于卫星、汽车等导航控制领域。本发明由两定子、周边结构、转子构成，两定子上下设置，并通过周边结构相连构成一个笼式结构，周边结构设置在转子周围，转子置于这个笼式结构的中间，周边结构由径向悬浮电极和径向检测电极对构成，径向检测电极对位于径向悬浮电极和之间。本发明结构简单，利用电荷驰豫，不需要转速检测既可以实现转子恒高速转动。通过在轴向设置轴向检测和轴向悬浮电极，径向检测电极和径向悬浮电极实现转子的稳定悬浮及位置检测。整个器件采用MEMS微加工技术制成，易于实施。具有尺寸小，重量轻，成本低，精度高，低功耗的特点。 | ||
| 搜索关键词： | 利用 静电 电荷 工作 悬浮 转子 mems 陀螺 | ||
【主权项】：
1、一种利用静电和电荷驰豫工作的悬浮转子MEMS微陀螺，由定子(1、4)、周边结构(2)、转子(3)构成，定子(1、4)上下设置，其特征在于，定子(1、4)通过周边结构(2)相连构成一个笼式结构，周边结构(2)设置在转子(3)周围，转子(3)置于这个笼式结构的中间，所述的周边结构(2)由径向悬浮电极(28、30、32、34)和径向检测电极对(27、29、31、33)构成，径向检测电极对(29)位于径向悬浮电极(28、30)之间，径向检测电极对(31)位于径向电极(30、32)之间，径向检测电极对(33)位于径向悬浮电极(32、34)之间，径向检测电极对(27)位于径向悬浮电极(28、34)之间。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于上海交通大学，未经上海交通大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/200410018015.7/，转载请声明来源钻瓜专利网。
