[发明专利]氧化锌棒状单晶纳米探针的制备方法无效
| 申请号： | 200410014149.1 | 申请日： | 2004-02-24 |
| 公开（公告）号： | CN1560330A | 公开（公告）日： | 2005-01-05 |
| 发明（设计）人： | 潘楠;白雪莲;崔雪峰;王晓平;侯建国 | 申请（专利权）人： | 中国科学技术大学 |
| 主分类号： | C30B25/00 | 分类号： | C30B25/00;C30B29/16;G12B21/02 |
| 代理公司： | 南京经纬专利商标代理有限公司 | 代理人： | 沈廉 |
| 地址： | 230026*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 氧化锌棒状单晶纳米探针的制备方法是一种尖端曲率半径小于5纳米的氧化锌棒状单晶纳米探针的制备方法，其制备过程为：a.选用清洁的(0001)或(1120)方向蓝宝石抛光外延基片作为衬底；b.利用溅射设备在上述衬底上沉积一层名义厚度为1～10纳米的金属颗粒膜；c.保持上述衬底镀有金属颗粒膜的一面向下，将衬底水平固定在盛有金属锌粉的小瓷舟上，衬底与锌粉的距离保持在2～10毫米；d.将上述步骤c准备好的瓷舟放置在水平管式加热电炉中，在加热管一端通入氩气作为保护气和载气，另一端向大气环境排气；e.将加热管迅速加热至450～600摄氏度，保持在此温度下物理气相沉积反应20～120分钟，然后停止加热，使加热管自然冷却至室温。 | ||
| 搜索关键词： | 氧化锌 棒状单晶 纳米 探针 制备 方法 | ||
【主权项】：
1、一种氧化锌棒状单晶纳米探针的制备方法，其特征在于制备过程为：a、选用清洁的“(0001)”或“(1120)”方向蓝宝石抛光外延基片作为衬底；b、利用溅射设备在上述衬底上沉积一层名义厚度为1～10纳米的金属颗粒膜；c、保持上述衬底镀有金属颗粒膜的一面向下，将衬底水平固定在盛有金属锌粉的小瓷舟上，衬底与锌粉的距离保持在2～10毫米；d、将上述步骤c准备好的瓷舟放置在水平管式加热电炉中，在加热管一端通入氩气作为保护气和载气，另一端向大气环境排气；e、保持上述步骤d中氩气的流量和压强设置不变，将加热管迅速加热至450～600摄氏度，保持在此温度下物理气相沉积反应20～120分钟，然后停止加热，使加热管自然冷却至室温。
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