[发明专利]多晶硅薄膜、其制法以及用该膜制造的薄膜晶体管有效
| 申请号： | 200410003656.5 | 申请日： | 2004-02-05 |
| 公开（公告）号： | CN1527405A | 公开（公告）日： | 2004-09-08 |
| 发明（设计）人： | 朴志容;朴惠香 | 申请（专利权）人： | 三星SDI株式会社 |
| 主分类号： | H01L29/786 | 分类号： | H01L29/786;H01L21/00;H05B33/00 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人： | 范明娥;张平元 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 本发明公开了一种用于显示器设备的多晶硅薄膜，该薄膜具有彼此不平行的相邻主晶粒间界，其中被主晶粒间界包围的面积大于1μm2，还公开了一种多晶硅薄膜的制造方法，以及用该方法制造的薄膜晶体管。 | ||
| 搜索关键词： | 多晶 薄膜 制法 以及 制造 薄膜晶体管 | ||
【主权项】：
1.一种用于显示器设备的多晶硅薄膜，该薄膜包括彼此不平行的相邻主晶粒间界，其中被主晶粒间界包围的面积大于1μm2。
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