[发明专利]一种微机械往复膜片泵

摘要

本发明是一种微机械往复膜片泵，特别是涉及生物化学微量分析用的微机械往复膜片泵。它采用压电驱动器件作为动力源，使泵腔膜片产生振动，从而迫使泵腔往复地吸入、泵出流体；本发明采用惯性整流流道作为无运动件阀，使得沿一个方向的流动阻尼大于相反方向的流动阻尼；本发明采用惯性环行腔，进一步明显增大两个方向的阻尼差，有利于提高输出泵压，并减小由于输出回流导致的流量输出脉动。本发明具有结构简单易实现、可以驱动含有较大颗粒流体、不破坏流体中的细胞或大分子、无死体积、相同体积液体流过泵腔的时间一致等优点。本发明适用于在截面尺寸为几十、几百微米的微流道中驱动微小体积流体。

主权项

1、一种微机械往复膜片泵，其特征在于它包括：由泵体基板[1]与膜片[2]键合、膜片[2]与压电振子[3]粘接形成一体，泵体基板[1]上表面刻蚀出环形槽[5’]、圆台[8]，与膜片[2]之间形成惯性环行腔[5]；惯性环行腔[5]通过两个惯性整流流道[4]、[4’]分别与输入腔[6]、输出腔[7]连接；惯性整流流道[4]、[4’]端口段与惯性环行腔[5]形成相切位置关系，并且两个惯性整流流道4、[4’]的端口之间形成口对口的位置关系；与输入腔[6]相连接的惯性整流流道[4]内，从输入腔[6]流向惯性环行腔[5]的流阻小于从惯性环行腔[5]流向输入腔[6]的流阻；与输出腔[7]相连接的惯性整流流道[4’]内，从输出腔[7]流向惯性环行腔[5]的流阻大于从惯性环行腔[5]流向输出腔[7]的流阻。