[发明专利]通电处理装置和电子源的制造装置无效
| 申请号： | 200410002720.8 | 申请日： | 2004-01-19 |
| 公开（公告）号： | CN1551277A | 公开（公告）日： | 2004-12-01 |
| 发明（设计）人： | 木村明弘;大木一弘;镰田重人 | 申请（专利权）人： | 佳能株式会社 |
| 主分类号： | H01J9/02 | 分类号： | H01J9/02 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人： | 王永刚 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 在减压环境中对基板上配置的导体进行通电处理的通电处理装置中，通过分别包括基板上配置了导体并且被真空吸附区域的温度控制机构，以及基板上除此以外区域的温度控制机构，降低基板上的温度差，抑制热膨胀率差造成的基板破损。 | ||
| 搜索关键词： | 通电 处理 装置 电子 制造 | ||
【主权项】：
1.一种通电处理装置，在减压环境中，对基板上配置的导体进行通电处理，其特征在于，该通电处理装置包括：配有排气孔的容器，覆盖所述导体和配置该导体的基板表面的一部分区域，并与该基板一起形成气密环境；第1温度调整机构，进行基板的所述一部分区域的温度调整；以及第2温度调整机构，进行基板的所述一部分区域以外的区域的温度调整。
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