[发明专利]制备金属茂化合物的方法有效

专利信息
申请号: 200380107925.6 申请日: 2003-10-30
公开(公告)号: CN1732177A 公开(公告)日: 2006-02-08
发明(设计)人: D·M·汤普森;C·A·霍弗 申请(专利权)人: 普莱克斯技术有限公司
主分类号: C07F17/02 分类号: C07F17/02;C23C16/00
代理公司: 中国专利代理(香港)有限公司 代理人: 赵苏林
地址: 美国康*** 国省代码: 美国;US
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摘要: 一种制备8族(VIII)金属茂或金属茂类化合物的方法,所述方法采用包括如在环戊二烯盐或环戊二烯类盐中常见的Cp′阴离子及其抗衡离子。在一个实施方案中,所述方法包括使金属盐、(Cp)化合物(如取代或未取代的环戊二烯或茚)和配体(L)反应,形成中间体化合物,并使所述中间体化合物与Cp′化合物(如环戊二烯或环戊二烯类盐)反应,其中所述金属盐可为钌、锇或铁的卤化物或硝酸盐,L为电子对给体。可制备未取代、单取代以及对称或不对称二或多取代金属茂或金属茂类化合物。在另一个实施方案中,通过使MX2(PPh3)m (其中m=3或4)与Cp′化合物反应制备未取代或对称取代金属茂。所述方法可用于制备化学气相沉积薄膜的前体。
搜索关键词: 制备 金属 化合物 方法
【主权项】:
1.一种制备8族(VIII)金属茂化合物的方法,所述方法包括以下步骤:a)使金属盐(MXn)化合物、Cp化合物和配体(L)反应,形成中间体化合物;和b)使所述中间体化合物与Cp′化合物反应,生成金属茂化合物,其中:M选自Ru、Os和Fe;L为电子对给体;Cp和Cp′为ηn-配位环部分,均为未取代或其中之一或两者包含至少一个选自以下的取代基:X;Ca1Hb1Xc1;Ca2Hb2Xc2(C=O)Ca1Hb1Xc1;Ca2Hb2Xc2OCa1Hb1Xc1,Ca2Hb2Xc2(C=O)OCa1Hb1Xc1;和Ca2Hb2Xc2O(C=O)Ca1Hb1Xc1;其中X为F、Cl、Br、I或者NO2;a1为1到8的整数;b1为0到2(a1)+1-c1的整数;c1为0到2(a1)+1-b1的整数;b1+c1至少为1;a2为0到8的整数;b2为0到2(a2)+1-c2的整数;c2为0到2(a2)+1-b2的整数。
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