[发明专利]通过瞬时热反射率测量薄膜厚度的方法和装置无效
| 申请号： | 200380105638.1 | 申请日： | 2003-12-10 |
| 公开（公告）号： | CN1723386A | 公开（公告）日： | 2006-01-18 |
| 发明（设计）人： | A·马滋内 | 申请（专利权）人： | 皇家飞利浦电子股份有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/17 | 分类号： | G01N21/17;G01N21/63;G01N29/24 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 王岳;梁永 |
| 地址： | 荷兰艾*** | 国省代码： | 荷兰;NL |
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| 摘要： | 一种测量膜厚度的方法，该方法基于监测在脉冲加热后膜反射率的瞬时变化。该方法包括如下步骤：用激励脉冲脉冲地照射膜的表面，以使膜的温度上升；用探测束照射膜的表面，使其从膜的表面反射以产生反射的探测束；检测反射的探测束的强度随时间的变化；基于测量的强度变化产生信号波形；以及基于信号波形确定膜的厚度。 | ||
| 搜索关键词： | 通过 瞬时 反射率 测量 薄膜 厚度 方法 装置 | ||
【主权项】：
1.一种测量膜厚度的方法，包括：用激励脉冲脉冲地照射膜的表面，以使膜的温度上升；用探测束照射膜的表面，使其从膜的表面反射以产生反射的探测束；检测反射的探测束的强度随时间的变化；基于测量的强度变化产生信号波形；基于信号波形确定膜的厚度。
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