[发明专利]紫外光源、包括紫外光源的激光治疗设备和包括紫外光源的曝光设备有效

专利信息
申请号: 200380105470.4 申请日: 2003-12-10
公开(公告)号: CN1723594A 公开(公告)日: 2006-01-18
发明(设计)人: 德久章;北野博史 申请(专利权)人: 株式会社尼康
主分类号: H01S3/067 分类号: H01S3/067;H01S3/094;H01S3/10
代理公司: 中原信达知识产权代理有限责任公司 代理人: 车文;顾红霞
地址: 日本*** 国省代码: 日本;JP
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摘要: 紫外光源(1)包括:产生红外区的信号光的激光光源(10);光放大器(20),包括光纤放大器(21,22),并放大激光光源(10)产生的信号光;和波长转换光学系统(30),把光放大器(20)放大的信号光转换成紫外光并输出转换的光。紫外光源(1)利用单模光纤激光器(26)作为激励光源,至少用于一级光放大器(20)的光纤光放大器(22)。
搜索关键词: 紫外 光源 包括 激光治疗 设备 曝光
【主权项】:
1.一种紫外光源,包括:激光光源,产生红外-可见波段的信号光;光放大器,包括至少一级光纤放大器,并放大所述激光光源产生的信号光;和波长转换光学系统,把所述光放大器放大的信号光转变成紫外光作为输出;其中:用作所述光放大器中所述至少一级光纤放大器的激励光源是单模光纤激光器。
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