[发明专利]用于制造成形结构的装置及方法

摘要

一种用于制造具有从其伸出来的柱形凸起的成形结构的方法，该方法包括将液体光敏树脂暴露于具有激活波长的光下从而诱使光敏树脂部分固化形成部分固化的光敏树脂的单体厚片的步骤；并包括诱使在单体厚片上的多个凸起部分固化使得它们被接合到单体厚片上并与其形成整体的步骤。该方法可还包括激光蚀刻穿过成形结构的多个孔的步骤。

主权项

1.一种用于制造具有孔的成形结构的方法，所述孔限定具有从该成形结构伸出的柱形凸起的连续网络，所述方法特征在于以下步骤：a)提供成形单元；b)提供背衬薄膜；c)提供多孔元件；d)相对于所述成形单元将所述多孔元件与所述背衬薄膜并置，以便所述背衬薄膜被设置在所述多孔元件和所述成形单元之间；e)提供液体光敏树脂；f)将所述液体光敏树脂涂层涂敷到所述多孔元件上；g)将所述光敏树脂涂层以接触关系与包括不透明和透明两个区域的第一掩模并置；h)控制所述背衬薄膜和所述涂层的第一掩模之间的第一厚度到预选值；i)将所述液体光敏树脂透过所述第一掩模暴露于具有激活波长的光下，从而诱使在与所述第一掩模的透明区域对准的那些区域中的所述光敏树脂部分固化，形成部分固化的光敏树脂的连续网络；j)除去所述第一掩模；k)去除基本上所有未固化的树脂，使得所述部分固化的光敏树脂的连续网络确定孔；l)重复步骤(a)至(k)一次，在步骤(g)至(h)中用不同的第二掩模代替所述第一掩模并且在步骤(h)采用第二厚度，所述第二厚度被限定在所述背衬薄膜和所述第二掩模之间并大于所述第一厚度，并且在步骤(i)中，诱使所述连续网络上多个凸起的部分固化，使得它们被接合到所述连续网络上并与其成为整体，并且在步骤(j)中除去所述第二掩模；m)将所述多孔元件和其上部分固化的树脂浸入无氧环境中；n)将所述多孔元件和其上部分固化的树脂暴露于具有激活波长的光下以完全固化所述部分固化的树脂，导致所述成形结构具有含有从其伸出来的柱形凸起的连续网络。