[发明专利]产生氟和循环氟的方法和设备有效
| 申请号： | 200380105137.3 | 申请日： | 2003-12-04 |
| 公开（公告）号： | CN1720195A | 公开（公告）日： | 2006-01-11 |
| 发明（设计）人： | D·K·史密斯;M·M·贝森;W·M·霍尔比;S·F·霍尼 | 申请（专利权）人： | MKS仪器股份有限公司 |
| 主分类号： | C01B7/20 | 分类号： | C01B7/20;B01J19/08;B01J19/24;C25B1/24 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 | 代理人： | 沙永生 |
| 地址： | 美国马*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本发明涉及用来产生和循环氟的设备和方法，申请人认识到氟分离器单独使用或与等离子体发生器结合，能在用于薄膜加工的地点生产足够量的氟。氟分离器可以是冷凝器，膜分离装置，是固体电解质的氟离子导体或前述的组合形式。在某些实施方式中，含氟的反应产物通过氟分离器。在其他实施方式中，分离的氟单独或与其他含氟原料结合通入等离子体发生器。氟分离器将氟循环，并从体系中除去废产物。 | ||
| 搜索关键词： | 产生 循环 方法 设备 | ||
【主权项】：
1.一种制备处理室使用的原子氟气流的设备，该设备包括：箱体，有接受含氟气体的进口；用来从含氟气体分离出氟的电化学池，电化学池至少部分设置在箱体内，有出口通道；将所述出口通道连接到处理室的接管；所述电化学池包括：至少一个电极；靠近至少该一个电极的是固体电解质的氟离子导体。
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