[发明专利]用于控制具有多变量输入参数的制造工艺的方法、系统和介质

摘要

本发明公开了一种建模和/或控制制造工艺的方法、系统和介质。特别地，一种根据本发明实施例的方法包括识别一个或多个输入参数的步骤。每个输入参数造成至少两个输出改变。所述方法还包括存储所识别的输入的值和对应的经验输出值以及预测输出值的步骤。所述预测输出值是部分地基于所识别的输入值计算的。所述方法还包括通过最小化一个评分方程(score equation)来计算一组变换系数的步骤，该评分方程是一个或多个经验输出值与其对应的预测输出值之间的差值的函数。所述方法还包括以下步骤：接收所识别的输入的一组新值，使用该组系数对所识别的输入的那组新值进行变换，并使用所变换的输入值来计算一组预测输出值。

主权项

1.一种用于控制制造装置的方法，所述方法包括以下步骤：(a)识别至少一个输入，所述至少一个输入导致多个输出中的至少两个输出发生改变；(b)存储所识别的输入的值和对应的经验输出值以及预测输出值，其中所述预测输出值是部分地基于所述所识别的输入的值计算的；(c)通过最小化一个评分方程来计算一组变换系数，所述评分方程部分地是一个或多个所述经验输出值与其对应的预测输出值之间的差值的函数，其中所述评分方程是：Sp=Σi,kWi,k(yactualik-ypredictedik(X→i′(X→i,P→)))2]]>其中：i——晶片数量；k——输出数量；y_actual——经验输出值；y_predicted——预测输出值，是按照基于特定晶片i的变换输入来计算的；X→i′=(X1i′,X2i′,X3i′)]]>是向量形式的变换输入值；X→i=(X1i,X2i,X3i)]]>对于晶片i连同变换参数因此计算的最优值；和(d)部分地基于所计算的这组变换系数来为一个或多个期望输出值计算一个或多个输入值。