[发明专利]包含电容器及较佳平面式晶体管的集成电路装置及制造方法

摘要

本发明说明了一种集成电路装置(140)，尤其是一种含有一较佳平面式晶体管(142)与一电容器(144)的集成电路装置(140)，该电容器(144)的底部电极与该晶体管(142)的一信道区域共同排列在一SOI基板中，该电路装置(140)易于制造且具有绝佳的电子特性。

主权项

1.一种集成电路装置(140)，其具有一电性绝缘绝缘区域及至少一组区域，该组区域形成一电容器(144)且该电容器(144)依下列顺序包含：一靠近该绝缘区域的电极区域(34)，一介电区域(46)，以及一远离该绝缘区域的电极区域(56)，该绝缘区域是排列在一平面中的一绝缘层(14)的一部份，该集成电路装置(140)的该电容器(144)与至少一主动组件(142)是排列在该绝缘层(14)的同一侧，而靠近该绝缘区域的该电极区域(34)与该组件(142)的主动区域(84)是排列在一平行于该绝缘层(14)所在平面的平面中。