[实用新型]多级罗茨式无油真空泵

摘要

本实用新型涉及一种多级罗茨式无油真空泵，该泵由主从动轴、主从动转子、两端侧盖、泵体、级间隔板、主从动齿轮构成，其中泵体采用两片分体结构，两片泵体中有各自的水冷夹层，泵体随转子级数不同分有多个相对独立的泵腔，两极泵腔之间有两片分体式的级间隔板分开，并通过级间气流通道相连，转子端面形成采用三叶形，本实用新型与已有技术比较有如下优点：工作时经过逐级压缩，增大压缩比提高极限真空度，节约能源，在抽速相同的情况下减小了泵的体积，同时降低了气流脉动冲击，减小噪音，并且实现直排大气，不需要接前级泵即可工作，在抽气过程中可保持真空环境不受污染，适用于半导体、石化、冶金、食品、医药、电子、包装、印刷等行业。

主权项

1.一种多级罗茨式无油真空泵，由主从动轴(14、17)、主从动转子(15)(16)、泵体左右端盖(2)(9)、上下泵体(13)(19)、主从动齿轮(11)、齿轮箱(12)组成，其特征在于，泵体采用两片分体结构，泵体随转子级数不同分有多个相对独立的泵腔(3)(5)(8)，每两个泵腔之间有分体式的级间隔板(4)(6)分开，并通过级间气流通道(18)相连。