[实用新型]电容式硅微加速度计无效
| 申请号： | 200320105057.5 | 申请日： | 2003-10-29 |
| 公开（公告）号： | CN2657008Y | 公开（公告）日： | 2004-11-17 |
| 发明（设计）人： | 刘绍杰;董慧颖;王云山;高奂文 | 申请（专利权）人： | 沈阳工业学院 |
| 主分类号： | G01P15/125 | 分类号： | G01P15/125 |
| 代理公司： | 沈阳技联专利代理有限公司 | 代理人： | 庞桂芝 |
| 地址： | 110168辽宁省*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | 电容式硅微加速度计，该加速度计包括等效质量块、电容上极板、电容下极板和支承体，等效质量块设置在支承体内，通过基座固定在支承体内的底面上，其上端通过附加质量块设置在支承体的导向槽内，电容上极板和电容下极板分别设置在附加质量块和基座之间，并固定在支承体的内壁上，活动电容极板固定在微弹性梁上，并在电容上极板和电容下极板之间，活动电容极板接有信号线，本实用新型具有结构简单、抗冲击能力强、抗干扰性能好、灵敏度高、成本低等优点，适用于微机电系统高精度动态测量加速度和位移等。 | ||
| 搜索关键词： | 电容 式硅微 加速度计 | ||
【主权项】：
1、电容式硅微加速度计，其特征是，该加速度计包括等效质量块、电容上极板、电容下极板和支承体，等效质量块设置在支承体内，通过基座固定在支承体内的底面上，其上端通过附加质量块设置在支承体的导向槽内，电容上极板和电容下极板分别设置在附加质量块和基座之间，并固定在支承体的内壁上，活动电容极板固定在微弹性梁上，并在电容上极板和电容下极板之间，活动电容极板接有信号线。
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