[实用新型]扩散系统中的悬臂式推拉装置无效
| 申请号： | 200320101702.6 | 申请日： | 2003-10-24 |
| 公开（公告）号： | CN2661712Y | 公开（公告）日： | 2004-12-08 |
| 发明（设计）人： | 王茂林;赵学文 | 申请（专利权）人： | 北京七星华创电子股份有限公司 |
| 主分类号： | C30B31/14 | 分类号： | C30B31/14 |
| 代理公司： | 北京凯特来知识产权代理有限公司 | 代理人： | 郑立明 |
| 地址： | 100016*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种扩散系统中的悬臂式推拉装置，其结构由悬臂式桨、夹持装置、位置调节机构、推拉机构与炉门装置组成；悬臂式桨为一支撑臂仅后端由夹持装置夹住；夹持装置位于位置调节机构上，夹持装置与位置调节机构上固定于推拉机构的移动部件上，炉门装置固定于位置调节机构上。由于是悬臂式结构，在送入硅片或取出硅片时舟与扩散炉内壁间不产生摩擦，这样就无粉尘，对于加工过程环境要求较高的硅片加工过程来说，将很大提高产品的质量。夹持装置固定于位置调节机构上随推拉机构一同移动。实现了自动化，操作简单、使用可靠、保证硅片以均匀的速度进入扩散炉中，能生产出质量较佳的产品。 | ||
| 搜索关键词： | 扩散 系统 中的 悬臂 推拉 装置 | ||
【主权项】：
1、一种扩散系统中的悬臂式推拉装置，其特征在于由悬臂式桨(1)、夹持装置与推拉机构组成；悬臂式桨(1)为一支撑臂仅后端由夹持装置夹住；夹持装置固定于推拉机构的移动部件上。
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