[发明专利]薄膜晶体管、TFT基片和液晶显示器有效
| 申请号: | 200310124837.9 | 申请日: | 2003-12-31 |
| 公开(公告)号: | CN1519631A | 公开(公告)日: | 2004-08-11 |
| 发明(设计)人: | 松永直记;世良贤二 | 申请(专利权)人: | 日本电气株式会社 |
| 主分类号: | G02F1/136 | 分类号: | G02F1/136;G02B5/00;H01L29/786;G02F1/1335 |
| 代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人: | 朱进桂 |
| 地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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| 摘要: | 提供了一种薄膜晶体管,它包括有源层,其中形成源区和泄漏区;第一光屏蔽膜,它屏蔽投射到有源层上的光;和第二光屏蔽膜,它在有源层与第一光屏蔽膜之间。至少第二光屏蔽膜对着有源层的表面部分的载流子浓度约为1017/cm3或更少。 | ||
| 搜索关键词: | 薄膜晶体管 tft 液晶显示器 | ||
【主权项】:
1.一种薄膜晶体管,包括:有源层,其中形成源区和泄漏区;第一光屏蔽膜,屏蔽投射到有源层的光;第二光屏蔽膜,它布置在有源层和第一光屏蔽膜之间,其中,至少对着有源层的第二光屏蔽膜表面部分的载流子浓度约为1017/cm3或至少。
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