[发明专利]基于微机电系统的倒置微带传输线及其制造方法无效
| 申请号： | 200310122738.7 | 申请日： | 2003-12-19 |
| 公开（公告）号： | CN1555107A | 公开（公告）日： | 2004-12-15 |
| 发明（设计）人： | 蒋振新;丁桂甫;李永海;曹莹 | 申请（专利权）人： | 上海交通大学 |
| 主分类号： | H01P3/08 | 分类号： | H01P3/08;H01P11/00 |
| 代理公司： | 上海交达专利事务所 | 代理人： | 王锡麟;王桂忠 |
| 地址： | 200240*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 一种基于微机电系统的倒置微带传输线及其制造方法。属于通信技术领域。倒置微带传输线包括：介质衬底、信号线金属条带、左接地线金属条带、右接地线金属条带和金属膜桥。左右接地线金属条带和信号线金属条带都位于介质衬底的上表面，金属膜桥连接信号线两侧的左右两接地线金属条带，呈拱形悬空覆盖在信号线金属条带上方，共同构成了倒置微带传输线的金属接地面。该倒置微带传输线采用微机械加工技术集成制造，先用掩膜电镀方法在介质衬底上制备信号线金属条带和接地线金属条带，然后借助牺牲层工艺构造连接两侧接地线金属条带并悬空覆盖信号线的金属膜桥，得到倒置微带传输线。本方法倒置微带传输线无辐射损耗、宽阻、低损耗。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 微机 系统 倒置 微带 传输线 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
1、一种基于微机电系统的倒置微带传输线，包括：介质衬底(1)、信号线金属条带(2)、接地线金属条带(3)、接地线金属条带(4)和金属桥(5)，其特征在于，左接地线金属条带(3)、右接地线金属条带(4)和信号线金属条带(4)都位于介质衬底(1)的上表面，金属膜桥(5)连接信号线金属条带(2)两侧的左接地线金属条带(3)、右接地线金属条带(4)，呈拱形悬空覆盖在信号线金属条带(2)上方，共同构成了倒置微带传输线的金属接地面。
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