[发明专利]含晶体结构的碳氮薄膜的制备方法无效
| 申请号: | 200310121059.8 | 申请日: | 2003-12-24 |
| 公开(公告)号: | CN1632177A | 公开(公告)日: | 2005-06-29 |
| 发明(设计)人: | 杨生荣;徐洮;阎兴斌;陈刚 | 申请(专利权)人: | 中国科学院兰州化学物理研究所 |
| 主分类号: | C25D9/08 | 分类号: | C25D9/08 |
| 代理公司: | 兰州中科华西专利代理有限公司 | 代理人: | 方晓佳 |
| 地址: | 730000甘肃*** | 国省代码: | 甘肃;62 |
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| 摘要: | 本发明公开了一种含晶体结构的碳氮薄膜的制备方法。以含有尿素的甲醇溶液作为电解液,石墨作为阳极,单晶硅片作为阴极,通过直流高电压作用在阴极上沉积出碳氮薄膜。其特点是:实验设备简单,制备过程简便,仅利用在甲醇中掺杂一定量尿素的方法电化学沉积碳氮薄膜。该薄膜有望在微型机械、硬盘保护和平板显示器等领域使用。 | ||
| 搜索关键词: | 晶体结构 薄膜 制备 方法 | ||
【主权项】:
1、一种含晶体结构的碳氮薄膜的制备方法,其特征在于主要包括以下步骤:(1)配制摩尔比在1∶100~1∶1000范围内尿素的甲醇溶液;(2)将配制好的溶液置于电解反应器中,调节电解液的温度在30~60℃;(3)将单晶硅片夹在石墨片上作阴极,石墨作阳极;采用直流高电压500~1500V作用,沉积时间为2~10小时。
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