[发明专利]压电控制的磁致动器有效
| 申请号： | 200310119534.8 | 申请日： | 2003-11-28 |
| 公开（公告）号： | CN1505067A | 公开（公告）日： | 2004-06-16 |
| 发明（设计）人： | R·E·M·L·德威尔德特;J·A·A·T·达姆斯 | 申请（专利权）人： | ASML荷兰有限公司 |
| 主分类号： | H01F7/06 | 分类号： | H01F7/06;G03F7/20;H01L21/027;H01L21/68 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 温大鹏;章社杲 |
| 地址： | 荷兰维*** | 国省代码： | 荷兰;NL |
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| 摘要： | 用于控制载荷上磁力的磁致动器，它包括分别具有第一、第二与第三位置的第一、第二与第三磁性件，此第一与第二磁性件相互相邻而沿第一方向分开一第一间隙，此第二与第三磁性件相互相邻而沿第二方向分开一第二间隙；上述磁力是由此第一、第二与第三磁性件于其各自的第一、第二与第三位置处的磁相互作用产生，其中此磁致动器包括连接到上述三个磁性件的至少两个之上的位移件，此位移件设置为通过使这三个磁性件至少之一从其相关位置上相对位移而改变这三个磁性件的磁相互作用。 | ||
| 搜索关键词： | 压电 控制 磁致动器 | ||
【主权项】：
1.用于调节载荷上的力的磁致动器(MAC；RM)，它包括第一致动部(MAC1；Y)与第二致动器(MAC2；L0)，此第一致动部包括第一磁性件(M1；Y0)与第二磁性件(M2；Y1，Y2)，此第二致动部(MAC2，L0)包括第三磁性件(M3；L0)，此第一与第二致动部被构造与布置成在这两部件之间产生沿第一方向的磁力，上述载荷加于此第一或第二致动部上，其特征在于，此磁致动器设有连接到第一(M1；Y0)与第二(M2；Y1，Y2)磁性件上的位移元件(PE；PE2)，用以相对地使此第一与第二磁性件移位。
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