[发明专利]测定装置

摘要

本发明的课题在于提供一种测定装置，该测定装置即使在衬底发生翘曲等的情况下，仍不进行物理的矫正，可进行更加正确的测定。三维测定装置(1)包括三维测定用照射机构(5)；可通过Z轴移动机构(9)上下移动的CCD照相机(6)；主控制机构(7)。伴随各拍摄区域的拍摄和测定，在规定的拍摄区域，测定相对预定的基准标高的高度方向的偏差量，在该偏差量在预定的允许范围内的场合，在保持相对高度关系的状态，进行该区域的测定用的拍摄，当转移到下一拍摄区域时，按照偏差量，对相对高度关系进行补偿。在偏差量不在允许范围内的场合，按照偏差量，对相对高度关系进行补偿后，进行测定用的拍摄。

主权项

1.一种测定装置，该测定装置包括：测定用照射机构，该测定用照射机构可对设置于衬底上的测定对象，照射规定的光；拍摄机构，该拍摄机构可针对多个拍摄区域中的每个，对上述规定光照射的测定对象进行拍摄；测定机构，该测定机构根据至少通过上述拍摄机构拍摄的图像数据，针对上述测定对象，进行二维测定或三维测定；其特征在于其设置有：移动机构，该移动机构可调整上述衬底和上述拍摄机构的相对高度关系；偏差量测定机构，该偏差量测定机构伴随在各拍摄区域的上述拍摄和测定，在规定的拍摄区域，测定相对预定的基准标高的高度方向的偏差量；判断机构，该判断机构判断通过上述偏差量测定机构测定的高度方向的偏差量是否在预定的允许范围内；该测定装置这样构成，即，在通过上述判断机构，判定上述偏差量在预定允许范围内的场合，在保持上述衬底和上述拍摄机构的相对高度关系的状态，进行在该规定的拍摄区域的上述测定用的拍摄，当转移到下一拍摄区域时，对上述控制机构进行控制，按照上述偏差量，对上述相对高度关系进行补偿；在通过上述判断机构，判定上述偏差量不在上述允许范围内的场合，对上述移动机构进行控制，按照上述偏差量，对上述相对高度关系进行补偿，然后，在该规定的拍摄区域，进行上述测定用的拍摄。