[发明专利]研磨构件有效
| 申请号： | 200310116426.5 | 申请日： | 2003-11-21 |
| 公开（公告）号： | CN1618572A | 公开（公告）日： | 2005-05-25 |
| 发明（设计）人： | 蔡腾群;许加融;余志展;李振仲 | 申请（专利权）人： | 联华电子股份有限公司 |
| 主分类号： | B24D9/08 | 分类号： | B24D9/08 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人： | 陶凤波;侯宇 |
| 地址： | 台湾省新竹*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 一种研磨构件，该研磨构件由一研磨盘、一研磨衬垫与一研磨垫所组成。研磨衬垫配置于研磨盘上，研磨垫配置于研磨衬垫上，其中研磨衬垫以一第一表面与研磨垫接触，且研磨衬垫以一第二表面与研磨盘接触，其特征在于第一表面与第二表面其中之一为一凹凸表面。 | ||
| 搜索关键词： | 研磨 构件 | ||
【主权项】：
1.一种研磨构件，该研磨构件包括：一研磨盘；一研磨衬垫，配置于该研磨盘上；以及一研磨垫，配置于该研磨衬垫上，其中该研磨衬垫以一第一表面与该研磨垫接触，且该研磨衬垫以一第二表面与该研磨盘接触，并且至少该第一表面与该第二表面其中之一为一凹凸表面。
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