[发明专利]利用软X射线的防静电装置及其软X射线管的制作方法无效
| 申请号： | 200310116297.X | 申请日： | 2003-11-17 |
| 公开（公告）号： | CN1619759A | 公开（公告）日： | 2005-05-25 |
| 发明（设计）人： | 李东勋 | 申请（专利权）人： | 釜山科技园财团法人;禅才高科技株式会社 |
| 主分类号： | H01J35/00 | 分类号： | H01J35/00;H05G2/00;H05G1/00;H05F1/00;H05F3/06 |
| 代理公司： | 深圳市顺天达专利商标代理有限公司 | 代理人： | 高占元 |
| 地址： | 韩国釜*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 本发明是利用软X射线辐射空气生成正负离子来中和存在于液晶、半导体晶片等表面静电的防静电装置及其软X射线管的制作方法。本发明的防静电装置包括直接离子化气体分子的防静电的头部，包围上述头部保护操作者不受放射线辐射的保护部，用来产生控制软X射线管的离子生成的灯丝电流和靶电压的电源控制部，发生高能量软X射线的软X射线管。所述软X射线管的主要制造步骤为：首先生成陶瓷管金属喷涂膜；再在铍窗口板上涂阳极物质；在铍窗口上电镀钨；使用专用真空炉进行高真空铜焊等。本发明可以用于中和可燃性粉末所带的静电，缓和在液晶、等离子、半导体制造工程里发生的静电，降低静电引起的灰尘附着与晶格损坏和静电点燃引起的火灾和事故率。 | ||
| 搜索关键词： | 利用 射线 静电 装置 及其 制作方法 | ||
【主权项】：
1、利用软X射线的防静电装置，其特征在于通过电离带电物体周围空气，达到中和物体表面静电的作用，包括使用铍膜镀钨材料作为窗口的软x射线管，产生高能量的、波长介于1.2埃至1.5埃的软X射线，用来中和以及弱化防静电对象物体的静电的防静电头部；包围所述防静电头部、用于保护操作者不受所述防静电头部泄漏的软X射线辐射的保护部；与所述防静电头部和所述保护部通过电缆相连、为所述软X射线生成管提供灯丝电压和靶电压的电源控制部。
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