[发明专利]用于彩色光阻材料平面化的研磨浆液无效
| 申请号： | 200310113053.6 | 申请日： | 2003-12-25 |
| 公开（公告）号： | CN1635043A | 公开（公告）日： | 2005-07-06 |
| 发明（设计）人： | 李家浩;刘文政;霍登彦 | 申请（专利权）人： | 长兴化学工业股份有限公司 |
| 主分类号： | C09K3/14 | 分类号： | C09K3/14 |
| 代理公司： | 北京纪凯知识产权代理有限公司 | 代理人： | 戈泊;程伟 |
| 地址： | 台湾省*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种用于研磨彩色光阻材料的化学机械研磨浆液，该化学机械研磨浆液包含复合研磨颗粒及水性介质。本发明所述的研磨浆液可有效地磨除彩色滤光片(ColorFilter)制作过程中彩色光阻材料干燥后所产生的牛角状突起物，且不易有研磨液残留现象发生。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 彩色 材料 平面化 研磨 浆液 | ||
【主权项】：
1.一种化学机械研磨浆液，其特征为包含一种复合研磨粒子，该复合研磨粒子由表面包覆氧化铝的氧化硅粒子构成。
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