[发明专利]光－机械式微梁阵列热型红外图象传感器无效
| 申请号： | 200310112820.1 | 申请日： | 2003-12-31 |
| 公开（公告）号： | CN1556648A | 公开（公告）日： | 2004-12-22 |
| 发明（设计）人： | 潘亮;张青川;伍小平;段志辉;陈大鹏;王玮兵 | 申请（专利权）人： | 中国科学技术大学 |
| 主分类号： | H04N5/33 | 分类号： | H04N5/33;H01L31/09 |
| 代理公司： | 南京经纬专利商标代理有限公司 | 代理人： | 王之梓 |
| 地址： | 230026*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 一种用于获取并转换红外信号的光－机械式微梁阵列热型红外图象传感器，包括按阵列分布的微梁单元，微梁单元中包含热变形机构和红外吸收板，热变形机构为两组且对称连接于红外吸收板的两侧，本发明的关键在于：整个微梁单元为侧向支撑的无底单层平面结构；热变形机构由热隔离梁和变形梁构成折转式分布；红外吸收板与变形梁连接，支撑梁与热隔高梁连接；每组热变形机构由至少一根热隔离梁和至少一根变形梁组成；所述的微梁单元采用顺序平铺的方式构成阵列。本发明不仅工艺实现简单，而且器件不发生粘连、不容易失效和破坏，对器件的真空度要求也大幅降低。无硅衬底部分反射红外线，更多的能量直接到达探测单元，使探测更灵敏。 | ||
| 搜索关键词： | 机械 式微 阵列 红外 图象 传感器 | ||
【主权项】：
1、一种用于获取并转换红外信号的光-机械式微梁阵列热型红外图象传感器，包括按阵列分布的微梁单元，微梁单元中包含热变形机构和红外吸收板，热变形机构为两组且对称连接于红外吸收板的两侧，其特征在于：整个微梁单元为侧向支撑的无底单层平面结构；热变形机构由热隔离梁和变形梁构成折转式分布；红外吸收板与热变形机构连接，热变形机构与支撑梁连接；每组热变形机构由至少一根热隔离梁和至少一根变形梁组成；所述的微梁单元采用顺序平铺的方式构成阵列。
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