[发明专利]一种无肼刻蚀液有效
| 申请号: | 200310111758.4 | 申请日: | 2003-10-09 |
| 公开(公告)号: | CN1605943A | 公开(公告)日: | 2005-04-13 |
| 发明(设计)人: | 刘萍 | 申请(专利权)人: | 刘萍 |
| 主分类号: | G03F7/32 | 分类号: | G03F7/32;C09K13/00 |
| 代理公司: | 深圳市顺天达专利商标代理有限公司 | 代理人: | 郭伟刚 |
| 地址: | 518057广东省深圳市南*** | 国省代码: | 广东;44 |
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| 摘要: | 本发明涉及一种无肼刻蚀液,为解决现有无肼刻蚀液的刻蚀速度较慢的问题,本发明无肼刻蚀液的其成分包括苛性碱、胺类和水,其中的苛性碱为氢氧化钾,胺类中包括一乙醇胺;另外,还可采用尿素作为其增速剂;所述胺类中还可加入己二胺,也就是说,所述胺类可以是一乙醇胺与己二胺的混合物。在本发明所述的无肼刻蚀液中,按重量计,氢氧化钾的含量为30-45份,水的含量为30-45份,一乙醇胺的含量为20-35份;在此基础上可再加入己二胺0-10份,尿素5-15份。本发明的无肼刻蚀液具有刻蚀速度快、刻蚀精度高等特点,可用于柔性线路制造工艺中对聚酰亚膜进行刻蚀。 | ||
| 搜索关键词: | 一种 刻蚀 | ||
【主权项】:
1、一种无肼刻蚀液,其成份包括苛性碱、胺类和水,其特征在于,所述苛性碱为氢氧化钾,所述胺类中包括一乙醇胺。
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