[发明专利]侧面进光的双台形高速光探测器的连体式双管芯

摘要

本发明公开了一种侧面进光的双台形高速光探测器的连体式双管芯；涉及一种光探测器；具体地说，涉及光探测器的管芯结构。该管芯是在掺铁的半绝缘半导体InP衬底1上，通过有机金属化学汽相淀积技术，沿着垂直方向逐次生长缓冲层2、下光波导层3、光吸收层4、上光波导层5、光限制层6和接触层7；通过刻蚀技术，使之形成孤岛状上、下两个台形部分；上台形部分包括3至7层，其水平面为(半椭圆－矩形－半椭圆)形状；下台形部分是第2层，为矩形形状。最后通过解理技术，把连体式管芯分成2个侧面进光的光探测器管芯。该管芯具有结构简单、体积小、进光平面解理容易、芯区面积可微调、组装耦合方便、和共面波导连接兼容等特点。

主权项

1、一种侧面进光的双台形高速光探测器的连体式双管芯，其特征在于：在半绝缘InP衬底(1)上，依次为缓冲层(2)、下光波导层(3)、光吸收层(4)、上光波导层(5)、光限制层(6)和接触层(7)；该管芯由上、下两个台形部分组成；上台形部分包括3至7层，其水平面为半椭圆-矩形-半椭圆形状；下台形部分是第2层，其水平面为矩形形状；其电极(8)和共面波导连线兼容。