[发明专利]搬运机构、使用搬运机构的移动式探针板搬运装置及探测装置有效
| 申请号： | 200310110391.4 | 申请日： | 2003-12-29 |
| 公开（公告）号： | CN1519572A | 公开（公告）日： | 2004-08-11 |
| 发明（设计）人： | 雨宫浩;川口浩二;铃木胜 | 申请（专利权）人： | 东京毅力科创株式会社 |
| 主分类号： | G01R31/26 | 分类号： | G01R31/26;G01R31/28;H01L21/66 |
| 代理公司： | 北京纪凯知识产权代理有限公司 | 代理人： | 龙淳 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 探针板搬运装置(10)具备可在台面(G)上自由移动的转向架(11)，和可离接地配置在该转向架(11)上，且在转向架11与探测装置(100)之间搬运探针板C的搬运机构(12)，搬运机构(12)具有基座(13)、在基座(13)上进退移动的臂机构(14)，在基座(13)中设置与探测装置(100)的定位机构(40)，同时，设置与探测装置(100)的固定机构(50)。 | ||
| 搜索关键词： | 搬运 机构 使用 移动式 探针 装置 探测 | ||
【主权项】：
1.一种搬运机构，其中，具备：基座；可进退移动地配置在基座上的第1臂机构；可进退移动地配置在第1臂机构上的第2臂机构；配置在所述第1臂机构前后的一对旋转体；挂绕在该一对旋转体之间的环状带；将该环状带连结在该基座上的第1连结件，以及将该环状带连结在该第2臂机构上的第2连结件，在此，通过在旋转体的周围使该环状带移动，第1臂机构及第2臂机构在基座上进退移动。
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