[发明专利]反射蝇眼式光束均匀器无效
| 申请号： | 200310108226.5 | 申请日： | 2003-10-28 |
| 公开（公告）号： | CN1540369A | 公开（公告）日： | 2004-10-27 |
| 发明（设计）人： | 叶震寰;楼祺洪;董景星;魏运荣;凌磊 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海光学精密机械研究所 |
| 主分类号： | G02B5/09 | 分类号： | G02B5/09;G02B5/10;G02B27/14;H01S3/00 |
| 代理公司： | 上海新天专利代理有限公司 | 代理人： | 张泽纯 |
| 地址： | 201800上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 一种用于准分子激光的反射蝇眼式光束均匀器，其特征是将n2(n为正整数)小块方形的镀有全反膜的凹面镜固定在同一块方形基板上组合成n×n的蝇眼式反射镜阵列板，由两组完全相同的蝇眼式反射镜列阵板平行且与入射光束成45°地错位放置，并在光束的输出方向垂直于输出光束设置一透镜组成。每小块方形的镀有全反膜的凹面镜具有相同的曲率半径。本发明的反射蝇眼式光束均匀器，具有加工难度小，对加工材料要求不高，价格低廉，全反膜的损耗也很小。 | ||
| 搜索关键词： | 反射 蝇眼式 光束 均匀 | ||
【主权项】：
1.一种反射蝇眼式光束均匀器，其特征是将n2块方形的镀有全反膜的凹面镜粘在同一块方形基板上组合成n×n的蝇眼式反射镜阵列板，由两组完全相同的蝇眼式反射镜列阵板平行且与入射光束成45°地错位放置，并在光束的输出方向垂直于输出光束设置一透镜组成。
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