[发明专利]基于计算机视觉的微机电系统的测试装置与方法无效
| 申请号： | 200310107132.6 | 申请日： | 2003-11-28 |
| 公开（公告）号： | CN1546364A | 公开（公告）日： | 2004-11-17 |
| 发明（设计）人： | 胡小唐;冯亚林;靳世久;胡晓东;栗大超;郝一龙 | 申请（专利权）人： | 天津大学 |
| 主分类号： | B81C5/00 | 分类号： | B81C5/00 |
| 代理公司： | 天津市学苑有限责任专利代理事务所 | 代理人： | 解松凡 |
| 地址： | 3000*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种基于计算机视觉的微机电系统的测试装置与方法。所述的装置主要包括由光学显微镜、频闪照明装置、MEMS结构运动激励装置、CCD摄像机组成，其特征在于：光源采用高亮发光二极管，并辅以恒流驱动电路；MEMS运动驱动采用单片高压运放，具有多级增益调整。所述的测试方法，其过程包括频闪与驱动信号的同步控制、平面图像几何量参数的归一化评价、模糊图像的运动估计、图像匹配的运动估计。本发明的优点在于：采用虚拟仪器方式实现功能调整和扩展；在连续光照明下，实现平面几何量参数的归一化评定，辅以模糊运动图像的分析，实现运动特性的快速测量，且对频率无限制；在频闪照明下，利用图像匹配技术实现高精度的运动特性测试。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 计算机 视觉 微机 系统 测试 装置 方法 | ||
【主权项】：
1、一种基于计算机视觉的微机电系统的测试装置。该装置包括由三维微动测试台、光学显微镜、频闪照明装置、MEMS结构运动激励装置、CCD摄像机、图像采集卡、GPIB控制卡、任意波形发生器、测量和控制计算机组成，其特征在于：光源采用高亮度的发光二极管LED，并辅以高带宽的恒流驱动电路和前置的任意波形发生器；MEMS运动驱动采用以单片高压运放为核心的电压驱动电路，具有多级增益调整，辅以前置的任意波形发生器。
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