[发明专利]具有滤色器和微型凹透镜组合的图像传感器无效
| 申请号: | 200310104369.9 | 申请日: | 2003-10-24 |
| 公开(公告)号: | CN1505164A | 公开(公告)日: | 2004-06-16 |
| 发明(设计)人: | 山本克已 | 申请(专利权)人: | 华微半导体(上海)有限责任公司 |
| 主分类号: | H01L27/146 | 分类号: | H01L27/146;G02B5/20;G02B23/00 |
| 代理公司: | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人: | 王永刚 |
| 地址: | 中国*** | 国省代码: | 上海;31 |
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| 摘要: | 公开了一种具有微型凹透镜结构的图像传感器。此图像传感器含有多个制作在半导体衬底中的像素,每个像素都含有光敏元件。而且,具有第一折射率的基底材料制作在像素上。在光敏元件上的基底材料中制作微透镜腔,此微透镜腔为凹状。最后,将滤色器材料制作至微透镜腔中,此滤色器具有的第二折射率高于第一折射率。 | ||
| 搜索关键词: | 具有 滤色器 微型 凹透镜 组合 图像传感器 | ||
【主权项】:
1.一种图像传感器,包括:制作在半导体衬底中的多个像素,每个像素都含有光敏元件;制作在所述多个像素上的基底材料,所述基底材料具有第一折射率;在所述光敏元件上制作于所述基底材料中的微透镜腔,所述微透镜腔为凹状;以及制作至所述微透镜腔中的滤色器材料,所述滤色器材料具有的第二折射率高于所述第一折射率。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的;包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27-14 . 包括有对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射或者微粒子辐射并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或适用于通过这样的辐射控制电能的半导体组件的
H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的;包括有热磁组件的
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