[发明专利]研磨浆臂自动控制装置及方法有效
| 申请号： | 200310103619.7 | 申请日： | 2003-10-29 |
| 公开（公告）号： | CN1523461A | 公开（公告）日： | 2004-08-25 |
| 发明（设计）人： | 林必窕;黄循康 | 申请（专利权）人： | 台湾积体电路制造股份有限公司 |
| 主分类号： | G05B11/00 | 分类号： | G05B11/00 |
| 代理公司： | 隆天国际知识产权代理有限公司 | 代理人： | 郑特强 |
| 地址： | 中国*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供一种研磨浆臂(Slurry Arm)自动控制装置及方法。此研磨浆臂自动控制装置至少包括移动马达、信号处理控制板、以及移除率接收器程序。此研磨浆臂自动控制方法为通过计算机整合制造(Computer IntegratedManufacturing；CIM)系统传输测试晶圆的厚度信息至信号处理控制板，再利用信号处理控制板内的移除率接收器程序计算出研磨浆臂的适当位置，然后利用移动马达将研磨浆臂移动至所计算出的适当位置以进行研磨。 | ||
| 搜索关键词： | 研磨 自动控制 装置 方法 | ||
【主权项】：
1.一种研磨浆臂(Slurry Arm)自动控制装置，设置于一化学机械研磨机台中，其特征在于，该研磨浆臂自动控制装置至少包括：一研磨浆臂；一计算单元，用以计算经一化学机械研磨步骤后的一测试晶圆的一厚度信息，并藉以获得该研磨浆臂的一位置调整值；以及一移动单元分别接合于该计算单元以及该研磨浆臂，用以接收从该计算单元传来的该研磨浆臂的该位置调整值，并根据该位置调整值移动该研磨浆臂。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于台湾积体电路制造股份有限公司，未经台湾积体电路制造股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/200310103619.7/，转载请声明来源钻瓜专利网。
