[发明专利]使用集成图像阵列和高密度偏振器和/或相移阵列的改进的干涉仪

摘要

用于干涉仪的集成成像元件产生至少一个干涉图像，此图像包括在图像具有高空间频率的图形中具有不同相对相移交错的多干涉部分。该交错干涉图形是至少部分由在集成成像元件中所使用的高密度相对延迟阵列的图形来确定的。在各种实施例中，多干涉部分是在整个检测器器件的表面上是以类似棋盘图形而交错的。因此，可以减少或消除在产生适用于各种相对相位的分离交错图像的各种干涉仪中所呈现出的各种非共模误差。

主权项

1.一种用于根据交错的多相移干涉信息来分析目标尺寸的干涉仪，它包括：一个发射部分，它将来自相干性光束的第一和第二不同的偏振光分别指向参考元件和目标，将参考元件和目标所反射的第一和第二不同的偏振光组合成组合波阵面，且输出该组合波阵面；以及，一个多相移成像发生部分，将其构成输入组合波阵面，该多相移成像部分包括：至少一个第一相对相移阵列器件，该器件沿着至少第一光路构成，该第一相对相移阵列器件包括至少两个分离的多个相对相移部分，各个相对相移部分包括：相对延迟部分，和相对偏振部分，其特征在于：至少两个各自的多个相对相移部分可具有至少一个延迟量和偏振方向；和，至少两个各自的多个相对相移部分可在第一相对相移阵列器件中以交错的图形构成；和，检测部分至少一个沿着第一光路所构成的第一检测器阵列；其特征在于：第一相对相移阵列器件接收至少一个包括第一和第二不同的偏振光的组合波阵面的子波阵面；各个各自的多个相对相移部分产生至少一个沿着第一光路的各自的多个干涉部分，沿着第一光路所产生的各个各自的多个干涉部分包括具有单个分离相对相移的干涉；以及，多相移成像发生部分输出来自至少第一光路的交错多相移干涉成像信息，从第一光路输出的交错多相移干涉成像信息包括沿着第一光路所产生的各自的多个干涉部分，在图形中的相互交错至少是由在第一相对延迟阵列中各自的多个相对延迟部分的交错图形部分确定。