[发明专利]多束光扫描装置有效
| 申请号： | 200310102736.1 | 申请日： | 2003-10-22 |
| 公开（公告）号： | CN1497290A | 公开（公告）日： | 2004-05-19 |
| 发明（设计）人： | 刘载焕;金亨洙 | 申请（专利权）人： | 三星电子株式会社 |
| 主分类号： | G02B26/10 | 分类号： | G02B26/10;G02B3/00;H01L33/00 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人： | 李晓舒;魏晓刚 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 本发明公开了一种多束光扫描装置。该装置在从光源至被扫描表面的副扫描方向上的横向放大率M满足8.5≤M≤9.5，在从光反射器至被扫描表面的副扫描方向上的横向放大率M2满足0.5≤M2≤2.0。该多束光扫描装置可以使用功率较小的光源。 | ||
| 搜索关键词： | 多束光 扫描 装置 | ||
【主权项】：
1.一种多束光扫描装置，它包括：发射多个光通量的光源；使光源发出的光通量折射的光反射器；引导从光源发出的光通量至光反射器的光源侧光学系统；被扫描表面；和使由光源侧光学系统引导的光通量在被扫描表面上成像的光学扫描系统；其中，光源侧光学系统和光学扫描系统的副扫描方向上的合成横向放大率M满足8.5≤M≤9.5。
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