[发明专利]可调整克服平动加速度的微陀螺仪有效
| 申请号： | 200310101017.8 | 申请日： | 2003-10-10 |
| 公开（公告）号： | CN1497240A | 公开（公告）日： | 2004-05-19 |
| 发明（设计）人： | 赵镇佑 | 申请（专利权）人： | 三星电机株式会社 |
| 主分类号： | G01C19/56 | 分类号： | G01C19/56;G01P3/00 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人： | 李瑞海;王景刚 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 本发明公开了一种可调整克服外界平动加速度的微陀螺仪，其包括：振荡质量，其悬浮在晶片上方以便在第一方向振荡；驱动电极，用于使振荡质量振荡；感测质量，其与振荡质量一道发生振荡并同时在第二方向上运动，该第二方向与第一方向垂直；感测电极，用于检测所述感测质量的运动；以及，感测电极支承部分，用于可动地固定感测电极，使得感测电极可随感测质量在第二方向上移动。根据本发明的微陀螺仪可防止由噪音、冲击脉冲等外界干扰造成的信号被检测到。 | ||
| 搜索关键词： | 可调整 克服 平动 加速度 陀螺仪 | ||
【主权项】：
1、一种可调整克服外界平动加速度的微陀螺仪，包括：振荡质量，其悬浮在晶片上方以便在第一方向振荡；驱动电极，用于使振荡质量振荡；感测质量，与振荡质量一道发生振荡，并同时在第二方向上运动，所述第二方向与第一方向垂直；感测电极，用于检测所述感测质量的运动；以及感测电极支承部分，用于可动地固定感测电极，使得感测电极可随感测质量在第二方向上移动。
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