[发明专利]有内反射器的半导体光电检测器

摘要

一种光电检测器，包括：有输入面和反射面的半导体基片，它们形成在基片上表面。反射面与基片表面形成锐角并放置在这样的位置，使得传输通过输入面进入基片的光束从反射面内反射到基片上表面。光电检测器激活区形成在基片上表面并放置在这样的位置，使得反射光束入射到激活区。光电检测器可以安装在第二基片上，它可以从第二基片上形成的平面型波导或第二基片上凹槽中安装的光纤中接收光束。

主权项

1.一种光学设备，包括：有基片表面的半导体基片；在基片表面的基片上形成的输入面并与基片表面形成一个角度；在基片表面的基片上形成的反射面并基片表面形成一个锐角，相对于输入面放置反射面，使得传输通过输入面进入基片的至少部分光束是从反射面内反射到基片表面；和在基片表面形成的光电检测器激活区，激活区是在这样的位置，使得从反射面反射的至少部分光束入射到至少部分的激活区。