[发明专利]光学对准检测系统有效

专利信息
申请号: 03824430.6 申请日: 2003-08-15
公开(公告)号: CN1688865A 公开(公告)日: 2005-10-26
发明(设计)人: B·S·弗里茨;P·罗伊蒂曼;A·帕德马纳布汉 申请(专利权)人: 霍尼韦尔国际公司
主分类号: G01B11/27 分类号: G01B11/27;G01B11/00;G01N15/14
代理公司: 中国专利代理(香港)有限公司 代理人: 王岳;王忠忠
地址: 美国新*** 国省代码: 美国;US
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摘要: 提供一种用于检测第一物体相对第二物体对准的光学对准检测系统。使用一个或多个光源和一个或多个光检测器,它们两者或者其中之一相对第二物体固定,以检测该第一物体上的一个或多个光散射元件的位置。
搜索关键词: 光学 对准 检测 系统
【主权项】:
1.一种用于检测第一物体相对第二物体对准的光学对准检测系统,该光学对准系统包括:一个或多个相对该第一物体固定的光散射元件;两个或多个相对该第二物体固定的光源,所述两个或多个光源用于提供光,以使来自至少一光源的光束与所述一个或多个光散射元件相交,以产生一个散射光轮廓;和一个或多个用于检测该散射光轮廓的检测器。
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