[发明专利]高精度基于压力的流量控制器无效

专利信息
申请号: 03824330.X 申请日: 2003-08-28
公开(公告)号: CN1688839A 公开(公告)日: 2005-10-26
发明(设计)人: D·T·穆德;W·W·怀特 申请(专利权)人: 霍里巴斯特克公司
主分类号: F16K31/12 分类号: F16K31/12
代理公司: 中国专利代理(香港)有限公司 代理人: 杨松龄
地址: 美国加利*** 国省代码: 美国;US
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摘要: 公开了一种质量流量控制器,其包括主体部分,该主体部分具有在其中形成的第一内部通道和至少第二内部通道,流量控制阀,该流量控制阀连接到该主体部分,并且与该第一和第二内部通道连通,至少一个压力变送器,将该压力变送器耦合到该主体部分,并且与该第一内部通道、第二内部通道和流量限制器中的至少一个连通,耦合到第二内部通道的非线性流量限制器,设置该非线性流量限制器以产生通过其中的高度压缩的层流,热传感器,该热传感器与该第一内部通道、第二内部通道和流量限制器中的至少一个连通,以及排气容器,该排气容器与该流量限制器连通。
搜索关键词: 高精度 基于 压力 流量 控制器
【主权项】:
1、一种质量流量控制器,包括:主体部分,该主体部分具有在其中形成的第一内部通道和至少第二内部通道;流量控制阀,该流量控制阀耦合到该主体部分,并且与该第一和第二内部通道连通;至少一个压力变送器,该压力变送器耦合到该主体部分,并且与该第一内部通道和第二内部通道中的至少一个连通;耦合到第二内部通道的非线性流量限制器,设置该非线性流量限制器以产生通过其中的高度压缩的层流;热传感器,该热传感器与该第一内部通道、该第二内部通道和该流量限制器中的至少一个连通;以及排气容器,该排气容器与该流量限制器连通。
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