[发明专利]用于终点检测的抛光衬垫及相关方法无效
| 申请号： | 03822308.2 | 申请日： | 2003-07-23 |
| 公开（公告）号： | CN1681622A | 公开（公告）日： | 2005-10-12 |
| 发明（设计）人： | B·A·斯威德克;M·比兰恩 | 申请（专利权）人： | 应用材料有限公司 |
| 主分类号： | B24B37/04 | 分类号： | B24B37/04;B24B49/10 |
| 代理公司： | 北京纪凯知识产权代理有限公司 | 代理人： | 赵蓉民 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 一种具有抛光层(22)的抛光衬垫，该抛光层有抛光面(24)和底面。抛光面上形成有多条沟槽(28b)，且在抛光层的底面上形成有凹槽(52)。在抛光面上对应于底面中的凹槽的区域没有沟槽或有浅沟槽(28a)。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 终点 检测 抛光 衬垫 相关 方法 | ||
【主权项】：
1.一种抛光衬垫，包括：一抛光层，其具有抛光面和底面；第一组沟槽，其形成于所述抛光层的前表面；及一凹槽，其形成于所述抛光层的底面上，且其中在所述抛光面上对应于所述底面中凹槽的区域没有沟槽，或是只有比所述第一组沟槽浅的第二组沟槽。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于应用材料有限公司，未经应用材料有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/03822308.2/，转载请声明来源钻瓜专利网。
